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四氟化碳(電子級)

發布時間:2019-08-24 | 游覽:15328

產品名稱氣體純度氣瓶規格閥門充裝量(Kg)保質期
CF499.999%DOT47LCGA580/CGA320/DISS716322年
DOT440LDISS7163002年
備注:可按客戶要求定制包裝規格


四氟化碳是一種無色、無臭、不燃的可壓縮惰性氣體。它是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。 在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

電子級四氟化碳技術指標:

包裝容器:規格齊全,按客戶要求配置。


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